总共有9个过程硅提炼➡拉单晶➡切片抛光➡薄膜沉积➡光刻➡刻蚀➡参杂➡金属互连➡封装测试硅提炼把沙子(二氧化硅)和碳一起扔进两千多度的熔炉里高温烧烤,赶走氧气,得到纯度约98%的冶金级硅,再通过化学方法提纯到99.9999999%以上的电子级多晶硅。拉单晶将多晶硅熔化,放入一颗小小的籽晶作为“种子”,一边旋转一边慢慢提拉,熔化的硅原子会乖乖排成队,长成一根完美的单晶硅棒。切片抛光把硅棒像切香肠一样切成不到1毫米厚的薄片,再打磨抛光到像镜子一样平整,这就是晶圆。只有基底(晶圆)足够“纯净”,后面“画”上去的电路(通过掺杂、沉积等工艺)才能精确可控,不受杂质干扰。用来做晶圆的硅,本身是纯度极高的“本征半导体”。在纯净状态下,它的原子都被束缚得很好,几乎没有自由电子可以导电,所以电阻率非常高,非常接近绝缘体。可以人为地向纯净的硅晶圆中植入极微量的特定杂质原子,这个过程就叫“掺杂”。就像在纯净的水里滴入一点墨汁,整杯水的性质就变了。如果掺入“多余”电子的杂质(如磷),晶圆就变成了N型,主要靠带负电的电子来导电。如果掺入“缺少”电子的杂质(如硼),晶圆就变成了P型,主要靠带正电的“空穴”来导电。所以,出厂时的晶圆就已经通过掺杂被设定好了导电类型和电阻率。它整体的导电能力介于导体和绝缘体之间,但通过精确控制掺杂浓度,可以让它在某些区域(比如晶体管的沟道)表现出特定的导电性,在其他区域(比如器件之间的隔离区)又让它近乎绝缘。薄膜沉积在真空腔里用高压电离惰性气体,让离子像炮弹一样轰击靶材(比如铜或二氧化硅),把靶材原子撞飞并沉积到晶圆表面,形成只有纳米厚的均匀薄膜
沙子变成芯片的过程概述
总共有9个过程硅提炼➡拉单晶➡切片抛光➡薄膜沉积➡光刻➡刻蚀➡参杂➡金属互连➡封装测试硅提炼把沙子(二氧化硅)和碳一起扔进两千多度的熔炉里高温烧烤,赶走氧气,得到纯度约98%的冶金级硅,再通过化学方法提纯到99.9999999%以上的电子级多晶硅。拉单晶将多晶硅熔化,放入一颗小小的籽晶作为“种子”,一边旋转一边慢慢提拉,熔化的硅原子会乖乖排成队,长成一根完美的单晶硅棒。切片抛光把硅棒像切香肠一样切成不到1毫米厚的薄片,再打磨抛光到像镜子一样平整,这就是晶圆。只有基底(晶圆)足够“纯净”,后面“画”上去的电路(通过掺杂、沉积等工艺)才能精确可控,不受杂质干扰。用来做晶圆的硅,本身是纯度极高的“本征半导体”。在纯净状态下,它的原子都被束缚得很好,几乎没有自由电子可以导电,所以电阻率非常高,非常接近绝缘体。可以人为地向纯净的硅晶圆中植入极微量的特定杂质原子,这个过程就叫“掺杂”。就像在纯净的水里滴入一点墨汁,整杯水的性质就变了。如果掺入“多余”电子的杂质(如磷),晶圆就变成了N型,主要靠带负电的电子来导电。如果掺入“缺少”电子的杂质(如硼),晶圆就变成了P型,主要靠带正电的“空穴”来导电。所以,出厂时的晶圆就已经通过掺杂被设定好了导电类型和电阻率。它整体的导电能力介于导体和绝缘体之间,但通过精确控制掺杂浓度,可以让它在某些区域(比如晶体管的沟道)表现出特定的导电性,在其他区域(比如器件之间的隔离区)又让它近乎绝缘。薄膜沉积在真空腔里用高压电离惰性气体,让离子像炮弹一样轰击靶材(比如铜或二氧化硅),把靶材原子撞飞并沉积到晶圆表面,形成只有纳米厚的均匀薄膜