非近轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此设计过程超出了近轴建模方法。因此在这个例子中迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。设计任务光栅级次分析模块设置使用常规的分束器会话2编辑器VirtualLabFusion提供了一个指导工具允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。将传输函数转换为结构1. 通过应用设计带中的结构设计所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。2. 对于此转换使用了薄元近似(TEA)。因此所得到的结构与初始相位函数成正比。3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。衍射分束器表面衍射光束求解器-薄元素近似(TEA)光栅级次和可编程光栅分析仪光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述作为许多可能的输出。使用可编程光栅分析仪用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率设计与评估结果- 相位功能设计- 结构设计- TEA评价- FMM评估- 高度标度公差纯相位传输设计结构设计进一步分析•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率从而改善均匀性。•参数运行是执行此类调查的最佳工具。使用TEA进行性能评估使用FMM进行性能评估进一步优化–设计#1的零阶阶次优化进一步优化–设计#2的零阶阶次优化进一步优化–设计#3的零阶阶次优化VirtualLab Fusion技术文档信息