泰伯效应。

在衍射光学中当周期性结构被准直光照射时可以观察到在物体后面周期性距离处形成的周期性结构的图像。这就是众所周知的 Talbot 效应用所谓的 Talbot 距离来描述周期性间隔它已经在例如光刻中得到了常规应用。利用快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion的场跟踪技术可以充分研究这种效应及其应用。请看下面的例子在这些例子中我们用线性和交叉图案演示Talbot效应的基本原理并更仔细地研究特定的光刻应用以产生纳米结构。圆锥相位掩模版的泰伯成像在VirtualLab Fusion中对带有一层圆锥体的相位掩模板进行了严格的建模。检测到不同的Talbot图像其中柱图案在主图像平面中再现而孔图案在次图像平面中再现。泰伯效应的建模我们演示了Talbot效应的建模Talbot效应是一种众所周知的来自周期结构(如光栅)的近场衍射效应。